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    化合物yabo网页登陆首页
    碳化硅(SiC)
    碳化硅晶片的主要应用领域有LED固体照明和高频率器件。该材料具有高出传统硅数倍的禁带、漂移速度、击穿电压、热导率、耐高温等优良特性,在高温、高压、高频、大功率、光电、抗辐射、微波性等电子应用领域和航天、军工、核能等极端环境应用有着不可替代的优势。国内独家碳化硅单晶供应商,在研发、技术、市场开发及商业运作等方面处绝对领先地位,已成功掌握76mm(3英寸)超大宝石级SiC2晶体生长核心技术工艺,达到国际2001年先进水平。
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    商品详情
    碳化硅规格 Silicon Carbide SiC
    等级 Grade 
    Z级
    Zero MPD
    工业级
    Production
    研究级
    Research Grade
    试片级
    Dummy Grade
    直径 Diameter 
    50.8 ±0.38 mm, 76.2 ±0.38 mm, 100±0.5 mm, 150±0.25mm
    厚度 Thickness 
    4H-N 
    350 μm±25μm
    4H-SI
    500 μm±25μm
    晶片方向 Wafer Orientation 
     Off axis : 4.0° toward 1120 !±0.5° for 4H-N                      On axis : <0001>±0.5° for 4H-SI
    微管密度 Micropipe Density 
    ≤1 cm-2 
    ≤5 cm-2 
    ≤15 cm-2 
    ≤50 cm-2
    电阻率 Resistivity
    4H-N 
    0.015~0.028 Ω·cm
    6H-N 
    0.02~0.1 Ω·cm
    4/6H-SI 
    >1E5 Ω·cm 
    (90%) >1E5 Ω·cm
    主定位边方向 Primary Flat 
    {10-10}±5.0°
    主定位边长度 Primary Flat Length 
    15.9 mm±1.7 mm,  22.2 mm±3.2 mm, 32.5 mm±2.0 mm,  47.5 mm±2.5 mm
    次定位边长度 Secondary Flat Length 
    8.0 mm±1.7 mm, 11.2 mm±1.5 mm, 18.0mm±2.0 mm, -----, 
    次定位边方向 Secondary Flat Orientation 
    Silicon face up: 90° CW. from Prime flat ±5.0°
    边缘 Edge exclusion 
    3 mm
    总厚度变化/弯曲度/翘曲度 TTV/Bow /Warp 
    ≤15μm /≤25μm /≤40μm
    表面粗糙度 Roughness 
    Polish Ra≤1 nm
    CMP Ra≤0.5 nm
    裂纹(强光灯观测) 
    Cracks by high intensity light 
    None 
    None 
    1 allowed, ≤1 mm
    六方空洞(强光灯观测)
    Hex Plates by high intensity light 
    Cumulative area≤1 % 
    Cumulative area≤1 % 
    Cumulative area≤3 %
    多型(强光灯观测)
    Polytype Areas by high intensity light 
    None 
    Cumulative area≤2 % 
    Cumulative area≤5%
    划痕(强光灯观测) 
    Scratches by high intensity light
    3 scratches to 1× wafer diameter
    cumulative length
    5 scratches to 1× wafer diameter
    cumulative length
    8 scratches to 1× wafer diameter
    cumulative length
    崩边 Edge chip 
    None 
    3 allowed, ≤0.5 mm each 
    5 allowed, ≤1 mm each
    表面污染物(强光灯观测)
    Contamination by high intensity light 
    None






    公司地址:广东省佛山市南海区桂澜北路26号招商置地中心3座1815 备案号:粤ICP备19154843号